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慷泰气体设备制造有限公司

低温液体充装、气体充装、集中供气、高真空低温输液管道等,公司是以研发、试验、生...

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低温泵超低温报警
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产品: 低温泵超低温报警 
品牌: 慷泰
单价: 100.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量: 500 台
发货期限: 自买家付款之日起 10 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2017-08-02 17:39
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详细信息
 1.低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
2.抽气原理
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在低温泵内设有由 液氦或 制冷机冷却到极低温度的 冷板。它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力,从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝:气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上,其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时,冷板温度必须低于 25K;抽 氢时,冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附:气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的 吸附剂表面上。 吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力,用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集:在抽气温度下不能冷凝的气体分子,被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。
一般说来, 泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时,水的蒸气压已低于10-8帕。温度为20K时,除 氦、 氖和氢外,其他气体的 蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同,泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器,低温板为20K时,泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。
 
3.类型
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低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。
注入式液氦低温泵
主要由 液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗,液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到10-6 帕压力时灌入液氮和液氦,气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到10-12帕数量级,故泵可获得10-11帕以下的极限压力。如果把液氦容器抽真空减压到6650帕,液氦温度可降到2.3K,则可得到更低的极限压力。
闭路循环气氦制冷机低温泵
它是70年代出现的新型低温泵(图)。这种泵不消耗氦气、操作简便,易于维修,应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦,一级冷板温度为50~100K,典型应用是65K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10~20K,用来冷凝氮、 氧和 氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭的 比表面积为500~2500米2/克,在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由 无氧铜制成,表面 抛光达到 镜面程度,以减小辐射系数。泵的极限压力为10-7~10-8帕,工作压力范围为10-1~10-7帕,要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒(1升=10-3米3)。此外,尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内,其抽气速率可达到106升/秒以上。
4.结构特点
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立式结构:适于埋装在地下,不会受电动机热风、空气温度和日照等影响,易于保冷;能降低泵的吸上高度,增加灌注头,提高有效汽蚀余量;立式结构还有利于排气,使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置,故该泵也称为立式筒型泵。
对称结构:泵的总体结构力求对称布置,以便在冷态下能均匀变形。冷头一般采用二级机构,**级达到80K,第二级达到温度10K。
双层壳体:为了保冷方便和有利于输送危险介质,通常都制成双层壳体,内壳里面承受泵压,内外壳之间是吸入压力,这样可适当降低内壳的强度要求。
外壳需做成真空夹层,已达到隔热效果。
 联系人:魏经理
手机:15235172633
电话:0319-5287039
传真:0319-5163339
单位:南宫市慷泰气体设备制造有限公司
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